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用途概要
用于加工红外光学镜片、有色金属反射镜、超精密有色金属零件等。
可加工工件口径80mm,表面粗糙度Ra<2nm,面形精度PV<0.2μm。
可加工平面、球面、锥面、非球面以及衍射面以及模仁等。
可加工材料包括单晶锗、硫系玻璃、硒化锌、单晶硅、铜、铝、氟化物、树脂等。

设备配置
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超精密气体静压主轴,标配C轴功能
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主轴采用内装式电机+高精度编码器
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X/Z轴均采用液体静压导轨,直线电机驱动,全闭环控制
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PMAC可编程控制器
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真空度可切换吸盘
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精密微调刀架
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在线动平衡调整系统
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自水平气浮隔振系统
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压缩空气处理系统
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恒压伺服液压系统
基础配置 |
超精密气体静压主轴,超精密液体静压导轨,“T”型布局 |
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振动隔离 |
自调节气浮垫铁 |
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控制系统 |
PMAC可编程控制器 |
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加工软件 |
超精密数控车床加工软件[简称:SPDT2DTools] |
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编程分辨率 |
直线运动0.1nm,回转运动0.000001° |
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性能指标 |
表面粗糙度Ra<2nm,面形精度PV<0.2μm |
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线性轴 |
X轴(垂直于主轴) |
Z轴(沿主轴) |
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类型 |
液体静压导轨、全闭环控制 |
液体静压导轨、全闭环控制 |
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最大行程: |
350mm |
150mm |
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驱动方式 |
直线电机 |
直线电机 |
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光栅分辨率 |
31.25pm |
31.25pm |
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直线度: |
0.1μm/50mm |
0.1μm/50mm |
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最大进给速度: |
20mm/s |
20mm/s |
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旋转轴 |
主轴(工件轴) |
C轴 |
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转速 |
0-8000rpm |
0-1000rpm |
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旋转精度 |
≤50nm |
转角定位精度5”,重复定位精度2” |
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基础条件 |
压缩空气要求 |
供电要求 |
占地空间 |
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温度控制:22℃±1℃ 温度梯度:≤1℃/小时 湿度:≤50% |
供气压力:0.6MPa 供气流量:0.3m3/min 过滤精度:0.5μm |
380V,三相五线制,50Hz 额定功率: 8Kw |
长宽高:2100*1200*1900mm 重量:2T |